ZnO素子原料用酸化亜鉛の品質判定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-202605
公開番号（公開出願番号）：特開平3-067167
出願日： 1989年08月04日
公開日（公表日）： 1991年03月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ZnO素子の原料用酸化亜鉛を酸により溶解して溶液を生成する第1の過程と、前記溶液を濾過することにより不溶解物を濾過残渣として分離する第2の過程と、前記濾過残渣中の不溶解物に含まれるSi、Al、Feのいずれか1つの蛍光X線強度または該濾過残渣の重量を測定する第3の過程と、Si、Al、Feのいずれか1つの基準となる蛍光X線強度または基準となる濾過残渣の重量と、前記第3の過程で得られた蛍光X線強度または濾過残渣の重量とを対比することにより前記原料用酸化亜鉛を用いてZnO素子を作製した場合の内部空孔発生率を推定する第4の過程と、を有することを特徴とするZnO素子原料用酸化亜鉛の品質判定方法。

IPC (3件)：