特許
J-GLOBAL ID：201103082927878755
半導体製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
田中 秀佳
, 白石 吉之
, 城村 邦彦
, 江原 省吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-258314
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076032
特許番号：特許第4166424号
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 直進動作あるいは回転動作する駆動部と、駆動部の駆動源となるモータとを備え、駆動部の状態を判定し、異常の自己診断機能を有する半導体製造装置であって、
モータに駆動信号を出力しモータから実位置データ信号を受取って、前記駆動信号と前記実位置データ信号とから、前記駆動部の固有振動数に演算するモータコントローラと、駆動部の固有振動数が、前記モータコントローラから送られて異常の自己診断を行う制御部とを備え、
前記制御部は、
初期運転をしたときの駆動部の固有振動数、駆動部の固有振動数であってその値以下になると駆動部の部品の寿命を示す限界値、及び駆動部の運転時間の経過単位に設けられた固有振動数であって、その値以下かつ前記限界値より大となると、駆動部の部品の寿命以外の異常が起こったとみなす許容値とを格納する初期情報格納エリアと、初期運転が終了した後、運転開始以降において、一定期間の駆動部の固有振動数が格納される複数の期間情報格納エリアとからなる情報格納部と、
初期運転した場合に、初期情報格納エリアに格納された固有振動数と許容値に基づいて、運転開始前の不具合を知るとともに、初期運転が終了した後、運転開始以降は、前記初期情報格納エリアに格納された情報と、各期間情報格納エリアに格納された固有振動数とを比較演算する演算処理部と、
前記演算処理部にて演算された演算結果に基づいて前記駆動部の状況を表示する表示部とを備えたことを特徴とする半導体製造装置。
IPC (5件)：
H01L 21/52 ( 200 6.01)
, H01L 21/60 ( 200 6.01)
, G01H 17/00 ( 200 6.01)
, G01M 19/00 ( 200 6.01)
, H02P 29/02 ( 200 6.01)
H01L 21/52 F
, H01L 21/60 301 L
, G01H 17/00 Z
, G01M 19/00 A
, H02P 7/00 U
