特許

J-GLOBAL ID：201103083041720790

基板処理装置

発明者： 奥野 正則
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-209151
公開番号（公開出願番号）：特開2011-061008
出願日： 2009年09月10日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】異常により所定の処理が停止しても、リトライ処理を行うことで、ウェハ回収作業等の実施に起因する装置稼働率の低下を抑止できる基板処理装置を提供することを目的とする。 【解決手段】ウェハ1を搬送する搬送手段と、前記搬送手段を制御する制御手段を備えた基板処理装置であって、前記搬送手段が、前記基板を搬送中にエラーが発生して一時停止したときに、前記制御手段は、所定回数のリトライ処理を前記搬送手段に実施させても前記エラーが解消されない場合、前記搬送手段を待機状態(コマンド入力待ち状態)に移行させる。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段を制御する制御手段を備えた基板処理装置であって、 前記搬送手段が、前記基板を搬送中にエラーが発生して一時停止した際に、 前記制御手段は、所定回数のリトライ処理前記搬送手段に実施させても前記エラーが解消されない場合、前記搬送手段を待機状態に移行させることを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/304 648B ,  H01L21/02 Z

Fターム (44件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA32 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA33 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA19 ,  5F031JA22 ,  5F031MA03 ,  5F031MA13 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02 ,  5F031PA10 ,  5F031PA11 ,  5F157AB03 ,  5F157AB13 ,  5F157AB47 ,  5F157AB64 ,  5F157AB72 ,  5F157AC13 ,  5F157BG33 ,  5F157BH15 ,  5F157CE22 ,  5F157CF42 ,  5F157DA71 ,  5F157DB47