特許
J-GLOBAL ID:201103083223603528

半導体スタックおよびその加圧力管理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 千葉 剛宏 ,  佐藤 辰彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-145444
公開番号(公開出願番号):特開2002-343937
特許番号:特許第4362244号
出願日: 2001年05月15日
公開日(公表日): 2002年11月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】内部に冷却媒体用流路が形成される複数の冷却フィンと、平形状の半導体素子とを交互に積層した積層体を、その積層方向両側から固定部材で挟持するとともに、前記固定部材間を複数本の締め付けボルトで一体的に固定する半導体スタックであって、 前記積層体の中心軸上に同軸的に配設され、該積層体を前記積層方向に加圧する皿ばねと、 前記皿ばねの表面に、前記中心軸を中心とする円周上に等間隔ずつ離間して配置される少なくとも3個の歪み検出器と、 を備えることを特徴とする半導体スタック。
IPC (2件):
H01L 25/11 ( 200 6.01) ,  H01L 23/40 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 25/14 A ,  H01L 23/40 D
引用特許:
出願人引用 (3件)

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