物品の自動実装装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小森久夫 , 村上辰一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311494
公開番号（公開出願番号）：特開2001-157989
特許番号：特許第3924408号
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】物品を真空吸着する吸着部と、該吸着部を上昇、移送、下降させる実装装置本体とを備え、物品を水平な基板上に実装する物品の自動実装装置において、吸着部と真空用バルブ間の配管経路中に実装装置本体に固定された中継チャンバーを設けると共に、吸着部と該中継チャンバー間の配管の全体を略水平に設置したことを特徴とする、物品の自動実装装置。

IPC (2件)：