特許

J-GLOBAL ID：201103083260645117

ウェーハ検査装置

発明者： 又井 定男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-157688
公開番号（公開出願番号）：特開平3-022453
特許番号：特許第2827285号
出願日： 1989年06月19日
公開日（公表日）： 1991年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウェーハ上に形成される複数個の集積回路の電極群のそれぞれに対応する探針群を接触させ前記集積回路の電気特性値を測定するウェーハ検査装置において、XおよびY方向に複数列に配線が表面に形成されるとともに前記探針群を前記表面と接触させ該探針群のそれぞれと接触する前記配線の座標位置を検出する探針検出絶縁板を備えることを特徴とするウェーハ検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073

FI (2件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/073 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-018929
  
• 特開昭63-108738