特許
J-GLOBAL ID：201103083368625350
ICの荷電粒子ビームによる試験方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-312366
公開番号（公開出願番号）：特開平3-173450
特許番号：特許第2934266号
出願日： 1989年12月01日
公開日（公表日）： 1991年07月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】電圧波形測定前に、電圧を被試験IC素子に印加した状態でその配線面を偏向制御信号により荷電粒子ビームで走査してその配線面の2次元像を得、その2次元像の正規像からずれた個所のずれ位置又はずれ量を検出して記憶し、上記被試験IC素子の上記ずれた個所に対する電圧波形測定時に、上記記憶したそのずれた個所のずれ位置又はずれ量に応じて荷電粒子ビームの上記偏向制御信号を、上記ずれた個所でのずれが補正されるように補正することを特徴とするICの荷電粒子ビームによる試験方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 C
, H01J 37/317 D
