特許

J-GLOBAL ID：201103083666686663

レーザトリミング装置用レーザ照射装置

発明者： 大田 孝二
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-174490
公開番号（公開出願番号）：特開2001-353585
特許番号：特許第3482945号
出願日： 2000年06月09日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 Qスイッチユニットを備えたレーザ発振器と、Qスイッチユニットを駆動するQスイッチドライバ部と、上記Qスイッチドライバ部を駆動制御する制御部とを設けたレーザトリミング装置用レーザ照射装置において、上記制御部が、Qスイッチドライバ部を駆動制御するプログラマブルタイマ回路を備えており、上記Qスイッチドライバ部が、Qスイッチ周波数による周期にかかわらず、上記プログラマブルタイマ回路で設定された時間T1だけ上記レーザ発振器からのレーザ発振を抑制して、上記レーザ発振器内に光エネルギーを蓄積し、時間T1の経過直後に上記レーザ発振器に蓄積された光エネルギーをジャイアントパルスとして出射させるとともに、その後時間T2だけジャイアントパルスに比較して微弱なレーザ発振をさせることを特徴とするレーザトリミング装置用レーザ照射装置。

IPC (5件)：

B23K 26/00 ,  H01C 17/22 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/11 ,  B23K 101:36

FI (6件)：

B23K 26/00 N ,  B23K 26/00 C ,  H01C 17/22 D ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/11 ,  B23K 101:36

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-098801
  
• 特開平4-098801
  
• 特開平3-054803
  
• 特開平3-054803