特許
J-GLOBAL ID：201103083910286109
消耗量測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
別役 重尚
, 村松 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-075631
公開番号（公開出願番号）：特開2011-210853
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】所望の機会に消耗部材の消耗量を測定することができる消耗量測定方法を提供する。【解決手段】プラズマに晒される上面25a及びサセプタに対向する下面25bを有するフォーカスリング25の消耗量を測定する際、サセプタに対向する下面57b及びフォーカスリング25に対向する上面57aを有する基準片57をフォーカスリング25と熱的に結合し、上面25a及び下面25bに対して垂直にフォーカスリング25へ低コヒーレンス光を照射してフォーカスリング25内を厚み方向に往復する低コヒーレンス光の第1の光路長を計測し、上面57a及び下面57bに対して垂直に基準片57へ低コヒーレンス光を照射して基準片57内を厚み方向に往復する低コヒーレンス光の第2の光路長を計測し、第1の光路長及び第2の光路長の比率に基づいてフォーカスリング25の消耗量を算出する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
互いに平行な、消耗部材を消耗させる環境に晒される消耗部材消耗面及び前記消耗部材を消耗させない環境に晒される消耗部材非消耗面を有する消耗部材の消耗量測定方法であって、
前記消耗部材と同材料からなる非消耗部材であって、互いに平行な、該非消耗部材を消耗させない環境に晒される第1の非消耗部材非消耗面及び第2の非消耗部材非消耗面を有する前記非消耗部材を前記消耗部材と熱的に結合し、
前記消耗部材消耗面及び前記消耗部材非消耗面に対して垂直に前記消耗部材へ低コヒーレンス光を照射し、前記消耗部材消耗面及び前記消耗部材非消耗面からの前記低コヒーレンス光の反射光を受光して前記消耗部材内を厚み方向に往復する前記低コヒーレンス光の第1の光路長を計測し、
前記第1の非消耗部材非消耗面及び前記第2の非消耗部材非消耗面に対して垂直に前記非消耗部材へ低コヒーレンス光を照射し、前記第1の非消耗部材非消耗面及び前記第2の非消耗部材非消耗面からの低コヒーレンス光の反射光を受光して前記非消耗部材内を厚み方向に往復する前記低コヒーレンス光の第2の光路長を計測し、
前記第1の光路長及び前記第2の光路長の比率に基づいて前記消耗部材の消耗量を算出することを特徴とする消耗量測定方法。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/302 101G
, H01L21/302 101B
, H01L21/302 101M
5F004AA16
, 5F004BA09
, 5F004BB13
, 5F004BB18
, 5F004BB22
, 5F004BB23
, 5F004BC08
, 5F004CA09
