特許

J-GLOBAL ID：201103083930299614

ダイヤフラム構造体、微小トランスジューサ、およびこれらの製造方法

発明者： 高橋 睦也 ,  山田 高幸
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (2件)： 平田 忠雄 ,  遠藤 和光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-227343
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043584
特許番号：特許第4182630号
出願日： 2000年07月27日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上に、ダイヤフラム部およびダイヤフラム部を支持する胴体部を含むダイヤフラム構成要素を形成してなるダイヤフラム構造体において、 前記ダイヤフラム構成要素は、薄膜から形成され、 前記胴体部は、前記基板上に接合され、 前記ダイヤフラム部は、前記胴体部に接合されたことを特徴とするダイヤフラム構造体。

IPC (4件)：

H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01) ,  G01L 9/04 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 29/84 B ,  H01L 29/84 Z ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01L 9/04

引用特許：

出願人引用 (4件)

• センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-135395   出願人：株式会社東海理化電機製作所
• 特開平2-030188
  
• 特開昭58-165028
  
• 特開昭61-137372
  

審査官引用 (4件)

• センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-135395   出願人：株式会社東海理化電機製作所
• 特開平2-030188
  
• 特開昭58-165028
  
• 特開昭61-137372