特許
J-GLOBAL ID：201103083956467540
徴細粒子測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-145831
公開番号（公開出願番号）：特開平3-010144
特許番号：特許第2711140号
出願日： 1989年06月08日
公開日（公表日）： 1991年01月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ウエハの表面に付着した微細粒子を検出する微細粒子測定装置において、ウエハを一定の速さで回転又は移動させる台と、同一波長のレーザ光をウエハ上にて重畳させ干渉じまを形成させるレーザ光照射機構と、ウエハ上に付着した微細粒子より散乱された光を受光して電気信号に変換する光検出器と、この光検出器から出力される電気信号のうち、少なくとも特定の周波数信号を通過させるフィルタと、上記フィルタの出力を信号処理する信号処理部とを備えた微細粒子測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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