洗浄装置及び洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：井上一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-188536
公開番号（公開出願番号）：特開平3-052226
特許番号：特許第2746669号
出願日： 1989年07月20日
公開日（公表日）： 1991年03月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理体を固定支持する支持手段と、この支持手段によって支持された被処理体の一面を洗浄する洗浄ブラシと、上記被処理体をハンドリングして上記支持手段に搬入出し、かつ、ハンドリング状態にて上記被処理体の一面及び他面を反転するアームとを有し、上記被処理体の一面を洗浄した後、上記被処理体の他面を選択的に洗浄可能とされると共に、上記支持手段及び上記アームは、上記被処理体の周縁部のみを支持し、上記周縁部以外には非接触とされたことを特徴とする洗浄装置。

IPC (1件)：