特許
J-GLOBAL ID：201103084298678678

物体搬送装置、露光装置、デバイス製造方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及び物体搬送方法

発明者：
青木 保夫

青木 保夫 について

, 
関 忠

関 忠 について

, 
柳川 卓也

柳川 卓也 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-011518
公開番号（公開出願番号）：特開2011-228633
出願日： 2011年01月24日
公開日（公表日）： 2011年11月10日
要約：
【課題】ステージ装置上から基板を迅速に搬出する。【解決手段】 基板搬出装置60は、基板が載置された基板トレイ90を吸着保持して、水平面に平行にスライドさせることにより、基板トレイ90を基板ホルダ50から搬出し、エア浮上装置68上に載置する。また基板搬出装置60では、基板トレイ90が進行して来る前に予めエア浮上ユニット68を、その上面が基板ホルダ50に近い側が低くなるように傾斜させておき、基板トレイ90の進行に応じて水平に姿勢を制御する。基板トレイ90は、傾斜したエア浮上装置68のガイド面に対して進入するので、基板ホルダ50のエア浮上装置55からエア浮上装置68にスムーズに載り移ることができる。従って、基板トレイ90を高速でスライドさせることができ、基板の搬出を迅速に行うことができる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
第1物体支持装置から前記第1物体支持装置に対して離間して配置された第2物体支持装置に物体を搬送する物体搬送装置であって、前記第1物体支持装置から前記第2物体支持装置に向けて前記物体を所定平面に平行な第1軸方向に駆動する搬送装置と、 前記第1物体支持装置に設けられ、前記物体が第1物体支持装置上を移動する際に該物体を下方から支持する第1支持部材と、 前記第2物体支持装置に設けられ、前記物体が第2物体支持装置上を移動する際に該物体を下方から支持する第2支持部材と、 前記物体が前記第1物体支持装置上に位置した状態で、前記第2支持部材を前記第1支持部材よりも下方に位置させ、前記物体の一部が前記第2支持部材の上方に位置したのに応じて、前記第1及び第2支持部材の少なくとも一方を前記所定平面に交差する方向に移動させて前記第1及び第2支持部材に前記物体を支持させる支持部材駆動装置と、を備える物体搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 502J ,  H01L21/30 514D
Fターム (14件)：
2H097DB11 ,  2H097LA11 ,  5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA56 ,  5F031GA62 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031MA27 ,  5F046CD01
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM