特許

J-GLOBAL ID：201103084618937928

研磨具

発明者： 大西 一正 ,  足立 卓也
出願人/特許権者： 有限会社UWAVE ,  株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 柳川 泰男 ,  松島 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-269647
公開番号（公開出願番号）：特開2011-110659
出願日： 2009年11月27日
公開日（公表日）： 2011年06月09日
要約：

【課題】超音波振動子にて発生させた超音波振動を効率良く砥石に付与することができる新規な構成の研磨具を提供すること。【解決手段】支持板11、支持板の下方に環状接続部12を介して支持板と間隔をあけて平行に支持され、下面に環状の砥石13が装着された環状砥石装着板14、および砥石装着板に固定された超音波振動子を備え、上記環状接続部12の上側環状接続面12aの内周縁が下側環状接続面12bの外周縁よりも外周側に位置していて、この接続部12の上側環状接続面12aの内周縁と下側環状接続面12bの外周縁との間に、環状空気相含有帯域16、17を接続部12の径方向に多重に形成してなる環状空気相含有領域18が、この環状空気相含有領域により超音波振動子から発生される超音波振動が砥石装着板と平行な方向に沿って環状接続部12の環状空気相含有領域18よりも外周側の領域に伝達されないように設けられていることを特徴とする研磨具。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回転軸の下端部に該回転軸に対して垂直に固定される円盤状もしくは環状の支持板、該支持板の下方に環状接続部を介して該支持板と間隔をあけて平行に支持され、下面に環状の砥石が装着された環状砥石装着板、および該砥石装着板に固定された超音波振動子を含む研磨具であって、 上記環状接続部の支持板と接続する上側環状接続面の内周縁が、環状砥石装着板と接続する下側環状接続面の外周縁よりも外周側に位置していて、該接続部の上側環状接続面の内周縁と下側環状接続面の外周縁との間に、環状に形成もしくは配置した連続もしくは非連続の空気相を含む環状空気相含有帯域を該接続部の径方向に多重に形成してなる環状空気相含有領域が、該環状空気相含有領域により超音波振動子から発生される超音波振動が上記砥石装着板と平行な方向に沿って環状接続部の環状空気相含有領域よりも外周側の領域に伝達されないように設けられていることを特徴とする研磨具。

IPC (1件)：

B24B 1/04

FI (1件)：

B24B1/04 B

Fターム (4件)：

3C049AA04 ,  3C049AA09 ,  3C049AA16 ,  3C049CB03