特許
J-GLOBAL ID：201103084795701551
静電容量式加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275824
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133708
特許番号：特許第3145040号
出願日： 1989年10月20日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】第1の電極と、前記第1の電極に対向して配置され、加速度に感応する第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量を利用して、前記加速度に対応した電気信号を出力する出力手段と、を備えた静電容量式加速度センサにおいて、前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加する印加手段を備え、前記電圧の印加に対する前記出力手段の出力に基づいて、前記出力手段の較正を行うことを特徴とする静電容量式加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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