ウェハー搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：曾我道治 , 池谷豊 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 長谷正久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254877
特許番号：特許第4042880号
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】固定体(1)に駆動手段(2)を介して上下動自在に設けられ筒体又は中実体よりなる柱体(5)と、前記柱体(5)の上部にウェハーを載置するためのハンガー(15)とを備えてなるウェハー搬送装置において、前記固定体(1)の上端に設けられたガイドローラ(10)と、前記柱体(5)の上部のみに形成され前記ガイドローラ(10)と接する接触部(11)とを備え、前記ハンガー(15)が下降し前記ウェハーの受渡し位置で前記ガイドローラ(10)と前記接触部(11)とが接し前記柱体(5)が前記ガイドローラ(10)により支持される構成としたことを特徴とするウェハー搬送装置。

IPC (3件)：

B25J 9/04 ( 200 6.01) , B65G 49/07 ( 200 6.01) , H01L 21/677 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B25J 9/04 B , B65G 49/07 C , H01L 21/68 A

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