特許
J-GLOBAL ID：201103085110048016
圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286387
公開番号（公開出願番号）：特開2001-112277
特許番号：特許第3892183号
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】板状の圧電材料からなる振動体と、
前記振動体の一方の面全体に設けられた第1の電極膜と、
前記振動体内に形成され、一端固定他端自由の変位屈曲部と、
前記一方の面とは反対側の他方の面の前記変位屈曲部のみに設けられた第2の電極膜と、
前記振動体の一方の面に接するように備えられた移動体と、を有し、
前記第1の電極膜及び第2の電極膜に交流電圧を印加することにより前記変位屈曲部が屈曲振動し、
前記変位屈曲部の屈曲振動により前記移動体と前記変位屈曲部との間に発生する摩擦力によって、前記移動体が運動することを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
H02N 2/00 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
H02N 2/00 C
, H01L 41/08 C
