特許

J-GLOBAL ID：201103085376563943

荷電粒子測定装置およびその測定方法

発明者： 粉川 信好 ,  北口 博司 ,  松井 哲也 ,  海原 明久 ,  有田 順一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240054
公開番号（公開出願番号）：特開2003-050279
特許番号：特許第3741006号
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】開閉可能な密封ドアを具備した測定チェンバー内に、半導体検出器と、該半導体検出器に対向するように測定試料を設置するための試料トレイを設け、前記半導体検出器と接続された前置増幅器,線形増幅器,波高分析器から構成される放射線計測回路と、該放射線計測回路からの出力信号により荷電粒子を定量分析する荷電粒子放出量演算装置と、該荷電粒子放出量演算装置の分析結果を表示する表示器と、前記測定チェンバーに空気を排気するための減圧排気配管系と、清浄ガスを供給置換するための清浄ガス供給配管系を設けたことを特徴とする荷電粒子測定装置。

IPC (4件)：

G01T 1/167 ( 200 6.01) ,  G01T 1/24 ( 200 6.01) ,  G01T 1/36 ( 200 6.01) ,  G01T 7/04 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01T 1/167 B ,  G01T 1/24 ,  G01T 1/36 A ,  G01T 7/04

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭57-065781
  
• 特開平4-233488
  
• 放射能測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-130092   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平2-304388