表面粗さ測定装置及び表面粗さ測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：渡邉一平 , 木川幸治 , 菅野重慶 , 佐藤博幸 , 小池成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-220041
公開番号（公開出願番号）：特開2011-069680
出願日： 2009年09月25日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：

【課題】坏被測定物の製造ライン中に組み込んで使用することが可能である表面粗さ測定装置を提供する。【解決手段】被測定物10を載置する載置板5と、載置板5に被測定物10を載置したときの被測定物10の中心軸を中心にして被測定物10の周囲を回転する回転運動、及び被測定物10の中心軸方向に移動する直線運動の両方の動きをすることができるとともに、回転運動と直線運動とを合わせた動きをすることができる、被測定物10の表面粗さを測定するレーザー変位計4とを備え、レーザー変位計4で被測定物10の表面粗さを測定するときに、レーザー変位計4のスキャンスピードV(m/秒)と、レーザー変位計のサンプリング間隔X(秒)との関係が、下記式(1)を満たす関係となる表面粗さ測定装置。 V×X≦4×10-6(m)・・・(1)【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定物を載置する載置板と、前記載置板に前記被測定物を載置したときの前記被測定物の中心軸を中心にして前記被測定物の周囲を回転する回転運動、及び前記被測定物の中心軸方向に移動する直線運動の両方の動きをすることができるとともに、前記回転運動と前記直線運動とを合わせた動きをすることができる、前記被測定物の表面粗さを測定するレーザー変位計とを備え、前記レーザー変位計で前記被測定物の表面粗さを測定するときに、前記レーザー変位計のスキャンスピードV(m/秒)と、前記レーザー変位計のサンプリング間隔X(秒)との関係が、下記式(1)を満たす関係となる表面粗さ測定装置。 V×X≦4×10-6(m)・・・(1)

IPC (1件)：

G01B 11/30

FI (1件)：

G01B11/30 102

Fターム (9件)：

2F065AA50 , 2F065BB06 , 2F065GG04 , 2F065MM07 , 2F065MM09 , 2F065PP02 , 2F065PP05 , 2F065PP22 , 2F065QQ01

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭53-119080
微小凹凸を有するエラストマー
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-128296 出願人：学校法人同志社, 藤田浩行
特開昭62-024104

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