表面特性測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-224927
公開番号（公開出願番号）：特開平3-087637
出願日： 1989年08月31日
公開日（公表日）： 1991年04月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】先端が試料表面に接触する接触針と、接触針を前記試料表面に一定の負荷で接触させる負荷機構と、前記接触針を支持する支持体と、前記支持体を前記試料表面と平行な一方向に挟み込むように配置され、互いに逆モードで振動する一対の電歪素子と、該電歪素子による加振時の接触針の試料に対する摩擦力に対応する振動の大きさを検出する検出手段とを備え、前記電歪素子の振動により前記接触針を試料表面に対して平行運動で往復動させることを特徴とする表面特性測定装置。

IPC (4件)：