電気的相互連結及び光学的相互連結を具備した多層光電子基板並びにその製造方法

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東忠彦 , 山口昭則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287380
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114581
特許番号：特許第4688248号
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (a)第1のクラッド材料の層を形成する工程と、 (b)光電子デバイスの少なくとも一部分を含むミニチップを上記第1のクラッド材料の層に配置し、接着する工程と、 (c)コア材料が上記ミニチップに接着するように上記第1のクラッド材料の層及び上記ミニチップの上にコア材料の層を形成する工程と、 (d)上記ミニチップで終端する導波路を上記コア材料内に画成する工程と、 (e)上記(a)から(d)の工程により形成された表面の上に第2のクラッド材料の層を形成する工程とを含む、基板の製造方法。

IPC (2件)：