特許
J-GLOBAL ID：201103085877785229
流体軸受面の歪み減少装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 山田 行一
, 沖本 一暁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118113
公開番号（公開出願番号）：特開2001-003938
特許番号：特許第4544694号
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 流体軸受であって、
(i)ベースと、
(ii)前記ベースに取り付けられて、運動の方向に延びる第1の平らな流体軸受面を提供するステータと、
(iii) 前記第1流体軸受面を覆って延びる第2の平らな流体軸受面を有すると共に、前記運動の方向に前記ステータに対して可動であるように装着される可動部材であって、前記第1及び第2流体軸受面は、前記第2流体軸受面が軸受流体により前記第1流体軸受面から離間して支持されるようになっており、前記ステータ及び前記ベースのうちの一方が、前記第1流体軸受面の平面に対して垂直に延びる位置決め部材を有し、前記ステータ及び前記ベースのうちの他方が、前記位置決め部材を受ける形状に作られた凹部を有する、前記可動部材と、
(iv)前記位置決め部材が前記垂直の方向に前記凹部内を滑動できるようにして、前記位置決め部材と前記凹部との間の密閉容積を封止する流体シールと、
(v)前記第1流体軸受面に平行な平面において分布した部位に配置され、前記部位で前記位置決め部材と前記ステータ及び前記ベースのうちの他方とを一緒に固定して前記密閉容積を形成する複数の取付具であって、前記取付具の数は、前記ステータの前記第1の平らな流体軸受面を歪みのないようにしておくのに必要な最小数である、前記複数の取付具と、
(vi)前記密閉容積への流体の供給を制御して前記可動部材の荷重下で前記第1の平らな流体軸受面を歪めずに維持しておく流体制御装置と、
を備える流体軸受。
IPC (3件)：
F16C 32/06 ( 200 6.01)
, H01J 37/317 ( 200 6.01)
, H01L 21/265 ( 200 6.01)
F16C 32/06 Z
, H01J 37/317 B
, H01L 21/265 603 C
