特許

J-GLOBAL ID：201103086017631328

Y-Ba-Cu-O系酸化物超電導薄膜の製造方法

発明者： 奥田 繁
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-148805
公開番号（公開出願番号）：特開平3-012321
特許番号：特許第2982964号
出願日： 1989年06月12日
公開日（公表日）： 1991年01月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】Y:Ba:Cuが1:2:3である酸化物を含むY-Ba-Cu-O系酸化物超電導薄膜をスパッタ法により製造する方法において、Agを0.2at%〜10at%の濃度で含有し、前記超電導薄膜よりもCuの含有比率が高いターゲットを用いることを特徴とする、Y-Ba-Cu-O系酸化物超電導薄膜の製造方法。

IPC (6件)：

C01G 3/00 ZAA ,  C04B 41/87 ,  C23C 14/08 ,  H01B 12/06 ,  H01B 13/00 565 ,  H01L 39/24

FI (6件)：

C01G 3/00 ZAA ,  C04B 41/87 F ,  C23C 14/08 L ,  H01B 12/06 ,  H01B 13/00 565 D ,  H01L 39/24 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平1-215712