特許

J-GLOBAL ID：201103086275602928

封止型プランジャーヘッド接合方法

発明者： 天野 良光
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 岩佐 義幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167879
公開番号（公開出願番号）：特開2000-355026
特許番号：特許第3457574号
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体デバイスにおけるレジンを送り出すプランジャーヘッドの接合方法において、前記プランジャーヘッドの接合部を、シャンク取り付けネジ部とピストン部とを、ネジ止めと勘合とロー付けとにより接合することを特徴とする封止型プランジャーヘッドの接合方法。

IPC (3件)：

B29C 45/02 ,  B29C 45/17 ,  H01L 21/56

FI (3件)：

B29C 45/02 ,  B29C 45/17 ,  H01L 21/56 T

引用特許：

審査官引用 (1件)

• トランスファーモールド装置用プランジャ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-061316   出願人：東芝タンガロイ株式会社