特許

J-GLOBAL ID：201103086289996040

磁気検出素子とそれを用いた磁気力顕微鏡およびその類似装置

発明者： 本多 幸雄 ,  保坂 純男 ,  二本 正昭 ,  田中 伸司 ,  佐藤 一雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-224464
公開番号（公開出願番号）：特開平3-090853
特許番号：特許第2872703号
出願日： 1989年09月01日
公開日（公表日）： 1991年04月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】磁気力顕微鏡、原子間力顕微鏡または情報記憶装置もしくはこれらの類似装置に用いられる、磁気力情報および表面形態情報を測定する磁気検出素子であって、該磁気検出素子は、半導体リソグラフィプロセスによって作製され、かつ被測定試料に探針を接近させて磁気力を検出する磁気力検出手段は、可撓性を有するカンチレバーと、該カンチレバーの先端部に、該カンチレバー面とは異なる角度で形成した先端の尖ったチップを一体に構成し、該チップの先端部に金属探針もしくは磁性探針を設けて磁気力検出手段となし、該磁気力検出手段の後方に設ける磁気力の変位を検出する手段は、可撓性を有するカンチレバーと、該カンチレバーの先端部に、該カンチレバー面とは異なる角度で形成した先端の尖ったチップを一体に構成し、該チップの先端部には導電性の探針を設けて、上記磁気力検出手段のカンチレバーの撓みによる変位を検出する磁気力変位検出手段となし、さらに上記磁気力変位検出手段の後方に、別途設定した基準部材より変位する構成のサーボ機構を設け、かつ上記磁気力検出手段と磁気力変位検出手段とサーボ機構とを一体に構成したことを特徴とする磁気検出素子。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G11B 9/00

FI (2件)：

G01N 37/00 H ,  G11B 9/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-043777
  
• 特開昭62-283542