固体撮像装置及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：机昌彦 , 谷澤靖久 , 河合信明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118314
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308308
特許番号：特許第3591423号
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電極を透過する光の強度に応じて電荷を発生し、かつ、前記電荷を一方向に転送する機能を有する垂直レジスタと、前記電荷を前記一方向と直交する方向に転送する水平レジスタと、前記水平レジスタの一端に接続される出力アンプとを備え、前記垂直レジスタの電極の上方には所定の波長の光を透過する色フィルタが設けられる固体撮像装置であって、前記色フィルタのうち特定の色に対応する垂直レジスタの電極が、他の垂直レジスタの電極よりも薄い膜厚の薄膜電極領域を含むことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (1件)：

H01L 27/148

FI (1件)：

H01L 27/14 B

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