感光性樹脂組成物、これを用いた感光性樹脂組成物の層及びレジストパターンの製造法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-192883
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006485
特許番号：特許第4465566号
出願日： 2000年06月27日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】分子内にアニオン性親水基及びエチレン性不飽和基を有するポリウレタンオリゴマー(A)の水分散体、カルボキシル基を有する樹脂(B)の水分散体及び水溶性ポリマー(C)を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：