特許

J-GLOBAL ID：201103086790268720

半導体素子のローディングとアンローディング制御装置及びその方法

発明者： ジャエ・ミュン・ソン
出願人/特許権者： ミラエ・コーポレーション
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367966
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193721
特許番号：特許第3274672号
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 サプライトレイにテストされる半導体素子があるかを確認するステップと、テストされる素子があると確認されると、半導体素子をX-Y軸ピッカーでサプライトレイから第1及び第2ピッカーに交互に移送させた後、第1及び第2バッファにそれぞれ積載された半導体素子を第1及び第2ピッカーでアライナに積載するステップと、前記ステップのうちテストの完了した半導体素子があるかを確認するステップと、テストの完了した半導体素子があると確認されると、これを第1及び第2ピッカーでアライナから第1及び第2バッファに移送させた後、第1及び第2バッファにそれぞれ積載された半導体素子をX-Y軸ピッカーでソーティングトレイに分類積載するステップと、から構成されることを特徴とする半導体素子のローディング及びアンローディング制御方法。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 G ,  H01L 21/68 A