横型熱処理炉用ボートおよび熱処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：荒船良男 , 荒船博司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-100847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299423
特許番号：特許第3867509号
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】支持部を有する二本以上の支持棒にてウェーハを支持しながら熱処理を行う横型熱処理炉用ボートにおいて、前記ボートの底部に位置する二本の支持棒の間隔は、前記ウェーハのオリエンテーションフラットの両端のラウンド部が前記二本の支持棒の支持部に当接するように設定されており、前記支持部は溝であり、該溝の底面は、前記ウェーハの曲率よりも小さい曲率に形成されていることを特徴とする横型熱処理炉用ボート。

IPC (2件)：