特許

J-GLOBAL ID：201103087107488326

電子ビ-ム描画装置およびそれにより描画されたパタ-ンを有する半導体デバイス

発明者： 奥村 正秀 ,  永田 浩司 ,  安藤 宏純 ,  森村 利幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 磯村 雅俊 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003904
特許番号：特許第2993504号
出願日： 1999年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電子光学鏡体と該電子光学鏡体の描画制御を行う制御部と該電子光学鏡体の内部を真空に保つ真空排気部とを床から電気的に分離して設置するための分離絶縁部材を、該電子光学鏡体、制御部および真空排気部の各々と床との間に挿入して設置し、かつ該電子光学鏡体と制御部と真空排気部とを共通線に接続し、該共通線を前記電子光学鏡体の代表一箇所から専用大地アース端子へ接続したことを特徴とする電子ビーム描画装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504

FI (2件)：

H01L 21/30 541 L ,  G03F 7/20 504