特許
J-GLOBAL ID:201103087289038118

圧力測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-329383
公開番号(公開出願番号):特開平3-015732
特許番号:特許第2695261号
出願日: 1989年12月19日
公開日(公表日): 1991年01月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】液体ラインに連結された流体室と、前記流体室の一壁を形成する柔軟な第1圧力伝達ダイヤフラムと、前記第1圧力伝達ダイヤフラムと密閉係合して配置された柔軟な第2圧力伝達ダイヤフラムであって、前記流体室内の圧力変化を前記第1圧力伝達ダイヤフラムからこの第2圧力伝達ダイヤフラムへと伝達する中間真空室を第1圧力伝達ダイヤフラムと第2圧力伝達ダイヤフラムとの間に形成する第2圧力伝達ダイヤフラムと、前記第1および第2圧力伝達ダイヤフラムを一定した密閉係合に保持するよう前記第1圧力伝達ダイヤフラムと前記第2圧力伝達ダイヤフラムとの間の前記中間真空室内に真空を形成する装置と、前記第2圧力伝達ダイヤフラムによって伝達された圧力変化に反応するよう前記第2圧力伝達ダイヤフラムに連結された圧力変換器と、を備えたことを特徴とする流体ラインの圧力測定装置。
IPC (1件):
G01L 7/08
FI (1件):
G01L 7/08
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭62-182636
  • 特開昭58-193431
  • 特開昭58-193431

前のページに戻る