特許

J-GLOBAL ID：201103087317937107

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 北村 智史
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-030933
公開番号（公開出願番号）：特開2011-171328
出願日： 2010年02月16日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：

【課題】複数の光電変換素子を平面配置した画素部と、画素部周辺に積層配置した多層配線部とを有する固体撮像素子において、画素部を形成した領域面を多層配線部の上面より低く形成した構造であっても、後のカラーフィルタ形成工程で枠色ムラや剥がれ等の品質不良の生じない正常な膜形成領域を広く確保する固体撮像素子を提供すること。【解決手段】固体撮像素子において、画素部領域の受光面表面が多層配線部領域の上面より低い位置となるように両部の境界付近に段差が形成され、段差から画素部にいたる表面上に、その表面が下に凸なスロープ状の透明樹脂層を設けた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の光電変換素子を平面配置した画素部領域と、画素部領域外周にあって画素部と電気的に接続する複数の配線層を各配線層間の層間絶縁膜を介して積層配置した多層配線部領域と、を有する固体撮像素子において、画素部領域の受光面表面が多層配線部領域の上面より低い位置となるように両部の境界付近に段差が形成され、段差から画素部にいたる表面上に、その表面が下に凸なスロープ状の透明樹脂層を設けたことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 U

Fターム (17件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX22 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52