特許

J-GLOBAL ID：201103087905800240

画像プローブの校正方法および形状測定機

発明者： 新井 雅典
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-144956
公開番号（公開出願番号）：特開2011-002317
出願日： 2009年06月18日
公開日（公表日）： 2011年01月06日
要約：

【課題】画像プローブの校正方法を提供すること。【解決手段】画像プローブ3の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ3および各測定子611A,611Bによりそれぞれ校正ゲージ62を測定し、画像プローブ3の光軸中心および各測定子611A,611Bの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子611A,611Bにより基準球63を測定し、基準球63の位置を登録する。続いて、画像プローブ3の撮像方向を傾斜させた後、各測定子611A,611Bで基準球63を測定し、該測定結果と登録した基準球63の位置とから測定機1上の各測定子611A,611Bの位置を求める。画像プローブ3の光軸中心および各測定子611A,611Bの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機1上の各測定子611A,611Bの位置から画像プローブ3の光軸周りの回転角度および画像プローブ3の位置を校正できる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

対物レンズを介して被測定物を撮像する画像プローブと、前記画像プローブおよび被測定物が載置されるテーブルを相対移動させる移動機構と、前記画像プローブの撮像方向を変更する変更機構とを備えた形状測定機において、前記画像プローブを、その撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に対して傾斜させて用いる場合の画像プローブの校正方法であって、 前記テーブル上において、中心軸を有し平面視直線部および前記中心軸を中心とした平面視円弧状部が形成された校正ゲージと、基準球とを設けるとともに、前記画像プローブにおいて前記対物レンズの光軸周りに第1,第2測定子を有するタッチプローブを取り付ける取付工程と、 前記画像プローブの撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に保持した状態で前記画像プローブおよび前記各測定子により前記校正ゲージを測定し、前記画像プローブの光軸中心および前記各測定子の相対位置関係を取得する相対位置関係取得工程と、 いずれか一方の測定子により前記基準球を測定し、前記基準球の位置を登録する基準球測定工程と、 前記画像プローブの撮像方向を前記テーブルに垂直な方向に対して所望の角度に傾斜させる傾斜工程と、 前記画像プローブの撮像方向を前記所望の角度に傾斜させた状態で前記各測定子により前記基準球を測定し、この測定結果と登録した前記基準球の位置とから前記各測定子の位置を求め、求めた前記各測定子の位置と前記相対位置関係とに基づいて、前記画像プローブの光軸周りの回転角度および前記画像プローブの位置を校正するプローブ校正工程とを備える ことを特徴とする画像プローブの校正方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 5/00 ,  G01B 5/008

FI (3件)：

G01B11/00 H ,  G01B5/00 P ,  G01B5/008

Fターム (40件)：

2F062AA04 ,  2F062AA10 ,  2F062AA51 ,  2F062AA71 ,  2F062BB08 ,  2F062BB09 ,  2F062BC57 ,  2F062DD23 ,  2F062DD33 ,  2F062EE07 ,  2F062EE09 ,  2F062EE63 ,  2F062FF05 ,  2F062FF07 ,  2F062FG07 ,  2F062HH01 ,  2F062HH13 ,  2F062HH27 ,  2F062LL18 ,  2F062NN03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA17 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065BB06 ,  2F065BB07 ,  2F065CC10 ,  2F065DD19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065FF67 ,  2F065GG07 ,  2F065GG14 ,  2F065GG17 ,  2F065PP04 ,  2F065PP05 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR08