特許

J-GLOBAL ID：201103088135088933

半導体装置

発明者： 高橋 潔
出願人/特許権者： NECエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-096315
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284528
特許番号：特許第3430116号
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 入力パッドと、出力パッドと、多段接続された複数の電界効果トランジスタと、これらの電界効果トランジスタ相互を接続する第一の配線と、これらの電界効果トランジスタと前記入力パッド及び前記出力パッドとを接続する第二の配線とが、半導体基板の表面に設けられた半導体装置において、前記第一の配線直下の前記半導体基板に前記電界効果トランジスタ相互のインピーダンス整合用の第一の誘電体が設けられ、前記第二の配線直下の前記半導体基板に前記半導体装置のインピーダンス整合用の第二の誘電体が設けられ、前記第一の誘電体の誘電率が前記第二の誘電体の誘電率よりも高い、ことを特徴とする半導体装置。

IPC (2件)：

H01L 21/822 ,  H01L 27/04

FI (1件)：

H01L 27/04 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-186901