特許
J-GLOBAL ID:201103088227569350

薄膜型SQUID磁束計およびこれを用いた生体磁気計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 昌幸
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-132413
公開番号(公開出願番号):特開平2-310484
特許番号:特許第2893714号
出願日: 1989年05月25日
公開日(公表日): 1990年12月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】磁束が通過可能な基板の第1の領域の一方の面に配置された、SQUIDと該SQUIDに結合する入力コイル及び帰還変調コイルとからなるSQUID素子と、前記基板の第2の領域に形成され、超伝導体により前記入力コイルに接続される検出コイルと、絶縁層を介して前記SQUID素子を覆うように前記第1の領域に配置され、前記SQUID素子の超伝導体が超伝導転移する前に、磁気シールドとして動作する超伝導体から構成される第1の超伝導薄膜と、前記基板の前記第1の領域の他方の面に前記SQUID素子を覆うように配置され、前記SQUID素子の超伝導体が超伝導転移する前に、磁気シールドとして動作する超伝導体から構成される第2の超伝導薄膜とを有する超伝導シールドとを具備することを特徴とする薄膜型SQUID磁束計。
IPC (1件):
G01R 33/035 ZAA
FI (1件):
G01R 33/035 ZAA
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭60-147646
  • 特開昭61-250577

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