特許

J-GLOBAL ID：201103088258484981

電子ビ-ム描画装置

発明者： 中山 義則 ,  五明 由夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-033781
特許番号：特許第3014689号
出願日： 1999年02月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】収束した電子ビームを偏向しながら試料上に照射して描画を行う電子ビーム描画装置であって、該試料の背面側に該試料を透過した電子ビームを吸収する部材を設けたことを特徴とする電子ビーム描画装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504

FI (2件)：

H01L 21/30 541 L ,  G03F 7/20 504