特許

J-GLOBAL ID：201103088352822882

圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計

発明者： 福田 純也
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (3件)： 久原 健太郎 ,  内野 則彰 ,  木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-076356
公開番号（公開出願番号）：特開2011-211441
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】周波数を調整する時間を短縮可能な圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。【解決手段】振動腕部に周波数調整用の粗微調膜、および微調膜からなる重り金属膜が形成されている圧電振動片を、パッケージ内に封止し、粗微調膜、および微調膜にレーザ光を照射して粗微調膜、および微調膜を部分的に除去することにより、圧電振動片の周波数が目標周波数となるように調整する微調工程(S80)を有する圧電振動子の製造方法であって、微調工程(S80)は、圧電振動片の周波数を測定する周波数測定工程(S81)と、周波数測定工程(S81)により測定された周波数と目標周波数との差に応じ、予め設定された加工パターンでレーザ光を照射し、少なくとも粗微調膜を1回で除去するパターン加工工程(S83)とを有する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

振動腕部に周波数調整用の粗微調膜、および微調膜からなる重り金属膜が形成されている音叉型圧電振動片を、パッケージ内に封止し、 前記粗微調膜、および前記微調膜にレーザ光を照射して前記粗微調膜、および前記微調膜を部分的に除去することにより、前記音叉型圧電振動片の周波数が目標周波数となるように調整する微調工程を有する圧電振動子の製造方法であって、 前記微調工程は、 前記音叉型圧電振動片の周波数を測定する周波数測定工程と、 前記周波数測定工程により測定された周波数と前記目標周波数との差に応じ、予め設定された加工パターンで前記レーザ光を照射し、少なくとも前記粗微調膜を1回で除去するパターン加工工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。

IPC (7件)：

H03H 3/04 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/19 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (8件)：

H03H3/04 B ,  H03H9/02 K ,  H03H9/19 L ,  H03B5/32 H ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A

Fターム (27件)：

5J079AA02 ,  5J079AA04 ,  5J079BA14 ,  5J079BA39 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA06 ,  5J079HA14 ,  5J079HA22 ,  5J079KA02 ,  5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG13 ,  5J108HH04 ,  5J108KK06 ,  5J108MM14 ,  5J108NA03 ,  5J108NB05