特許
J-GLOBAL ID：201103088386416905
変位検出装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-047171
公開番号（公開出願番号）：特開2011-181850
出願日： 2010年03月03日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】回折格子を用いる場合に、光学系の調整を容易にして、回折格子に照射される光ビームの角度が変化したときの計測誤差の発生を抑制する。【解決手段】Y軸エンコーダ3Yは、Y方向に周期性を持つ回折格子39Y1と、供給されるレーザビームBIからビームBL及びBRを分岐し、ビームBLを回折格子39Y1に照射する偏光ビームスプリッタ23と、ビームBRをビームBLとは逆方向に傾けるペンタプリズム26と、ビームBL2による回折格子39Y1からの+1次回折光BL1と、ビームBRによる回折格子39Y1からの-1次回折光BR1との干渉光BEを受光する光電検出器29と、を備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
変位検出装置であって、
第1方向に沿った周期を有する回折格子と、
供給される光ビームから第1ビーム及び第2ビームを分岐し、前記第1ビームを前記回折格子に照射する分岐素子と、
前記光ビームが前記第1方向に傾いて前記分岐素子に入射したときに、前記第2ビームを前記第1ビームとは逆方向に傾けて前記回折格子に照射する角度反転素子と、
前記第1ビームによる前記回折格子からの第1回折ビームと、前記第2ビームによる前記回折格子からの前記第1回折ビームとは回折次数の符号が異なる第2回折ビームとの干渉光を受光する受光素子と、を備え、
前記第1ビーム及び前記第2ビームと前記回折格子との相対変位を検出することを特徴とする変位検出装置。
IPC (1件)：
FI (4件)：
H01L21/30 516B
, H01L21/30 515F
, H01L21/30 515G
, H01L21/30 503A
5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC04
, 5F146CC01
, 5F146CC02
, 5F146CC04
