特許
J-GLOBAL ID:201103088795240223

プローブカード

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大西 孝治
公報種別:特許公告
出願番号(国際出願番号):特願平1-298525
公開番号(公開出願番号):特開平3-158765
出願日: 1989年11月16日
公開日(公表日): 1991年07月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】表裏両面に導電性を有する所定のパターンが形成された絶縁性を有するフレキシブルフィルムと、前記パターンに穿刺されて当該パターンと接続される略釘状の接触針と、切り口がテーパ状になった開口が開設された基板と、前記開口のテーパ面に沿って嵌め込まれたフレキシブルフィルムの上に積層される樹脂と、前記基板に取り付けられ、前記樹脂を押さえるホルダとを具備しており、フレキシブルフィルムの表面側に形成されたパターンと裏面側に形成されたパターンとは、一部が重なるのみで完全には全体が重なることなく形成されており、表面側のパターンに接続された接触針と、裏面側のパターンに接続された接触針とは互いに独立していることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件):
G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B 7630-4M
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭62-163973
  • 特開昭62-182672
  • 特開昭60-216598
全件表示

前のページに戻る