特許
J-GLOBAL ID：201103088951192056
磁気抵抗効果を有する酸化物薄膜及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
220000356 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055314
特許番号：特許第3062747号
出願日： 1999年03月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属有機物溶液の混合液を、基板上に塗布して焼結させた磁気抵抗効果を有する多結晶の酸化物薄膜であり、前記混合液は、La,Y ,Sm,Erから選ばれる三価元素Aを含有する金属有機物溶液、Ba,Ca,Sr,Pb,Zn,Sn,Mg,Cdから選ばれる二価元素Bを含有する金属有機物溶液、Mn,Fe,Co,Cr,Niから選ばれる三価又は四価となる元素Cを含有する金属有機物溶液とからなり、得られる薄膜の組成が基本構造式AxB1-xCOy (Oは酸素、x,yは組成比を表し、その範囲は0.6≦x≦0.8,2 ≦y≦4 )で示されるように各溶液を組み合わせて混合液を調製したことを特徴とする磁気抵抗効果を有する酸化物薄膜。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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