特許
J-GLOBAL ID:201103089250645460
複合基板
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小松 秀岳
, 旭 宏
, 加々美 紀雄
, 酒井 正己
, 小松 純
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-336581
公開番号(公開出願番号):特開2003-137693
特許番号:特許第3813493号
出願日: 2001年11月01日
公開日(公表日): 2003年05月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】MgO、Al2O3及びSrTiO3から選ばれた材料からなる基板上に、REBa2TaO6(RE:Nd,Sm,Eu,Gd,Dyから選ばれた少なくとも一種)の薄膜をエピタキシャル成長させてなる複合基板。
IPC (4件):
C30B 29/22 ( 200 6.01)
, C01G 1/00 ( 200 6.01)
, C01G 3/00 ( 200 6.01)
, H01L 39/24 ( 200 6.01)
FI (4件):
C30B 29/22 501 K
, C01G 1/00 S
, C01G 3/00 ZAA
, H01L 39/24 B
前のページに戻る