特許
J-GLOBAL ID：201103089333688098
光学式エンコーダ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安形 雄三
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-210386
公開番号（公開出願番号）：特開平3-073809
出願日： 1989年08月15日
公開日（公表日）： 1991年03月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】可干渉性を有する平行光を発する光源装置と、前記平行光を回折する第1スケールと、この第1スケールに対して相対変位し、前記第1スケールにて回折された回折光を回折する第2スケールと、この第2スケールにて回折された回折光を受光して電気信号に変換する光電変換手段とを備え、前記電気信号の変化により前記相対変位後の位置を検出する光学式エンコーダにおいて、前記第1スケールの断面形状をくさび状に形成したことを特徴とする光学式エンコーダ。
IPC (2件)：
G01D 5/38 A 7269-2F
, G01D 5/38 B 7269-2F
