特許

J-GLOBAL ID：201103089432132247

コンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法およびコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置

発明者： 伊藤 敦 ,  石田 賢治 ,  篠原 章仁 ,  井上 正明 ,  森山 潤
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  永野 大介 ,  藤井 兼太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146570
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052949
特許番号：特許第4507353号
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 高分子フィルム(11)上の少なくとも一部にマスキングオイル層を形成する第1工程、 前記高分子フィルム(11)に金属を蒸着させて、マスキングオイル層が形成された部分以外の前記高分子フィルム(11)上に蒸着金属層(2)を形成する第2工程、および 冷却器(38)と放電装置(36)との間を通過する、前記蒸着金属層(2)が表面に形成された前記高分子フィルム(11)に、グロー放電処理により放電ガスを吹き付けて前記マスキングオイル層を前記高分子フィルム(11)上から除去する第3工程、を包含するコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法であって、 前記放電装置の前記高分子フィルム入口側と出口側とに、前記高分子フィルムの表面との間隔が1mm以上5mm以下になるように鍔状のガスカバー(39)を設け、前記吹き付けられた放電ガスが高分子フィルム(11)の進行方向に対して平行に放電装置(36)から流出するようにしたコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法。

IPC (4件)：

H01G 4/015 ( 200 6.01) ,  H01G 4/18 ( 200 6.01) ,  C23C 14/20 ( 200 6.01) ,  H01G 13/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01G 4/24 331 B ,  H01G 4/24 331 A ,  C23C 14/20 A ,  H01G 13/00 391 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-264530   出願人：東レ株式会社
• 特開平3-097861