特許
J-GLOBAL ID：201103089447804217
広検出視野高精度のアライメントシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山田 光夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-273250
公開番号（公開出願番号）：特開平3-135009
特許番号：特許第2676412号
出願日： 1989年10月20日
公開日（公表日）： 1991年06月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】プロキシミティ露光を必要とするアライナーにおけるアライメント装置において、マスクとウエハーの相対位置を検出する位置検出装置として、2重焦点検出装置とSFZP検出装置を配設し、広い検出視野を必要とするコースアライメントにおいては上記色収差2重焦点検出装置を使用し、引き続いて行なう高い検出精度を必要とするファインアライメントでは扇形フレネルゾーンプレート(SFZP)検出装置を使用して、精度良くマスクとウエハーの位置合せを行なうようにしたことを特徴とする広検出視野高精度のアライメントシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 510
, G01B 11/00 G
