窒化珪素質焼結体

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-087807
公開番号（公開出願番号）：特開平2-044066
特許番号：特許第2736386号
出願日： 1989年04月06日
公開日（公表日）： 1990年02月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】α′-窒化珪素とβ′-窒化珪素とからなる窒化珪素質焼結体であって、X線回折によるピーク強度比における存在比率は、α′-窒化珪素0.05〜0.50、β′-窒化珪素0.95〜0.50であり、α′-窒化珪素は、結晶粒の平均粒径が2.0μm以下であり、β′-窒化珪素は、結晶粒の平均粒径が長径方向において5.0μm以下、短径方向において1.0μm以下であることを特徴とする窒化珪素質焼結体。

IPC (1件)：