特許

J-GLOBAL ID：201103090410140945

標準ガス混合物の製造方法およびそのための装置

発明者： ジャック・メッテス ,  タカコ・キムラ ,  ミヒアエル・シャック
出願人/特許権者： レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-299449
公開番号（公開出願番号）：特開平2-276945
出願日： 1989年11月17日
公開日（公表日）： 1990年11月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】原料ガスの圧力を制御する工程、前記原料ガスを精製して高純度稀釈ガスを生成する工程、少なくとも1種の高濃度標準ガスの流量を制御する工程、前記高純度稀釈ガスと前記少なくとも1種の高濃度標準ガスとを混合して中濃度ガス混合物を生成する工程、前記中濃度ガス混合物を第1の流れと第2の流れに分割する工程、前記中濃度ガス混合物の第1の流れをサンプルガス又は高純度希釈ガス又はその混合物と混合して標準低濃度ガス混合物を得る工程、サンプルガスの圧力を制御する工程、前記中濃度ガス混合物の第2の流れの圧力を制御する工程、及び前記標準低濃度ガス混合物の圧力を制御する工程を具備する標準ガス混合物の製造方法。

IPC (1件)：

G01N 1/00 102 D