特許

J-GLOBAL ID：201103090717865998

交流放電ガスレーザ発振器

発明者： 三木 直樹
出願人/特許権者： 株式会社アマダエンジニアリングセンター ,  株式会社アマダ
代理人 (6件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-374835
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176213
特許番号：特許第4450980号
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】交流放電ガスレーザ発振器において、該レーザ発振器容器内に相対向する一対の金属電極を設け、該一対の金属電極の相対向する対向表面のそれぞれに該金属電極の幅より広い誘電体を密着して設け、該誘電体の中央部に位置する放電部の面積を前記金属電極の対向表面の面積より小さく設けると共に、前記放電部周囲の厚さを放電部の厚さより薄くして設け、該放電部表面以外の前記誘電体の周囲と前記金属電極の周囲とを該板状誘電体の比誘電率より小さい比誘電率を有する絶縁体で密閉被覆して設けると共に、前記金属電極内に冷却水が循環可能に設けたことを特徴とする交流放電ガスレーザ発振器。

IPC (2件)：

H01S 3/041 ( 200 6.01) ,  H01S 3/038 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01S 3/04 G ,  H01S 3/03 B