特許
J-GLOBAL ID:201103090760720286

位置測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 江崎 光史 ,  三原 恒男 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-382244
公開番号(公開出願番号):特開2001-194188
特許番号:特許第4503822号
出願日: 2000年12月15日
公開日(公表日): 2001年07月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 測定尺(10;100)と、測定尺(10;100)に対して相対的に測定方向(x)に移動可能な走査ユニット(20;200)とから成る位置測定装置であって、その際 測定尺(10;100)上に2つの相異なる目盛周期(TP1、TP2)を有するインクリメンタル目盛を有する、測定方向(x)に延びるインクリメンタルトラック(13;130)が配設されており、 走査ユニット(20;200)は、インクリメンタル信号検出器配列(24.1,24.2;240.1)を有し、その際インクリメンタル信号検出器配列(24.1,24.2;240.1)は、第1の粗い信号周期(SP1)を備えたインクリメンタル信号(NC1)の発生のために並びに第2の微細な信号周期(SP2)を有するインクリメンタル信号(INC2)の発生のために設けられることを特徴とする、前記位置測定装置。
IPC (2件):
G01D 5/347 ( 200 6.01) ,  G01B 11/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01D 5/34 D ,  G01B 11/00 A

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