特許
J-GLOBAL ID:201103090951551352
光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鈴木 誠
, 大浦 一仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-246709
公開番号(公開出願番号):特開2011-095331
出願日: 2009年10月27日
公開日(公表日): 2011年05月12日
要約:
【課題】ミラー部の振動角の増大が容易で、かつ、トーション梁等の破損を生じにくくした光走査装置を提供する。【解決手段】ミラー部11を回転振動可能に支持するトーション梁13,14をそれぞれ略平行な複数の分割トーション梁13a,13bと略平行な複数の分割トーション梁14a,14bとに分割する。分割トーション梁13a,13bをカンチレバー15の非拘束の自由端に接続し、分割トーション梁14a,14bをカンチレバー16の非拘束の自由端に接続する。カンチレバー15,16の自由端を容易に大きく変位させることができるので、ミラー部のより大きな振動角を容易に得ることができる。トーション梁の分割により、トーション梁とカンチレバーとの連結箇所が増加するため、連結箇所での応力集中が緩和され、その部分の破損が生じにくい。【選択図】図3
請求項(抜粋):
ミラー面を有するミラー部と、
それぞれが略平行な複数の第1の分割トーション梁と、
それぞれが略平行な複数の第2のトーション梁と、
一方の端が固定され、他方の端が非拘束の自由端である一つの第1のカンチレバーと、
一方の端が固定され、他方の端が非拘束の自由端である一つの第2のカンチレバーと、
前記第1及び第2のカンチレバーに反り変形を生じさせる反り発生手段とを有し、
前記複数の第1の分割トーション梁と前記複数の第2の分割トーション梁とが前記ミラー部を介して略直線上に並ぶように、前記複数の第1の分割トーション梁の一方の端及び前記複数の第2の分割トーション梁の一方の端がそれぞれ前記ミラー部に接続され、
前記第1のカンチレバーの長手方向と前記複数の第1の分割トーション梁の長手方向とが略直交して配置され、前記複数の第1の分割トーション梁の他方の端が前記第1のカンチレバーの自由端に接続され、
前記第2のカンチレバーの長手方向と前記複数の第2の分割トーション梁の長手方向とが略直交して配置され、前記複数の第2の分割トーション梁の他方の端が前記第2のカンチレバーの自由端に接続されていることを特徴とする光走査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B26/10 104Z
, H04N1/036 Z
Fターム (15件):
2H045AB06
, 2H045AB26
, 2H045AB38
, 2H045AB43
, 2H045AB81
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DA02
, 5C051DB02
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC02
, 5C051DC03
, 5C051DC05
, 5C051EA01
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