特許
J-GLOBAL ID:201103090951551352

光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-246709
公開番号(公開出願番号):特開2011-095331
出願日: 2009年10月27日
公開日(公表日): 2011年05月12日
要約:
【課題】ミラー部の振動角の増大が容易で、かつ、トーション梁等の破損を生じにくくした光走査装置を提供する。【解決手段】ミラー部11を回転振動可能に支持するトーション梁13,14をそれぞれ略平行な複数の分割トーション梁13a,13bと略平行な複数の分割トーション梁14a,14bとに分割する。分割トーション梁13a,13bをカンチレバー15の非拘束の自由端に接続し、分割トーション梁14a,14bをカンチレバー16の非拘束の自由端に接続する。カンチレバー15,16の自由端を容易に大きく変位させることができるので、ミラー部のより大きな振動角を容易に得ることができる。トーション梁の分割により、トーション梁とカンチレバーとの連結箇所が増加するため、連結箇所での応力集中が緩和され、その部分の破損が生じにくい。【選択図】図3
請求項(抜粋):
ミラー面を有するミラー部と、 それぞれが略平行な複数の第1の分割トーション梁と、 それぞれが略平行な複数の第2のトーション梁と、 一方の端が固定され、他方の端が非拘束の自由端である一つの第1のカンチレバーと、 一方の端が固定され、他方の端が非拘束の自由端である一つの第2のカンチレバーと、 前記第1及び第2のカンチレバーに反り変形を生じさせる反り発生手段とを有し、 前記複数の第1の分割トーション梁と前記複数の第2の分割トーション梁とが前記ミラー部を介して略直線上に並ぶように、前記複数の第1の分割トーション梁の一方の端及び前記複数の第2の分割トーション梁の一方の端がそれぞれ前記ミラー部に接続され、 前記第1のカンチレバーの長手方向と前記複数の第1の分割トーション梁の長手方向とが略直交して配置され、前記複数の第1の分割トーション梁の他方の端が前記第1のカンチレバーの自由端に接続され、 前記第2のカンチレバーの長手方向と前記複数の第2の分割トーション梁の長手方向とが略直交して配置され、前記複数の第2の分割トーション梁の他方の端が前記第2のカンチレバーの自由端に接続されていることを特徴とする光走査装置。
IPC (2件):
G02B 26/10 ,  H04N 1/036
FI (2件):
G02B26/10 104Z ,  H04N1/036 Z
Fターム (15件):
2H045AB06 ,  2H045AB26 ,  2H045AB38 ,  2H045AB43 ,  2H045AB81 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA02 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC02 ,  5C051DC03 ,  5C051DC05 ,  5C051EA01

前のページに戻る