特許

J-GLOBAL ID：201103091225918529

光ファイバの多孔質ガラス母材製造用チャンバ

発明者： 乙坂 哲也 ,  島田 忠克 ,  平沢 秀夫
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小宮 良雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-052660
特許番号：特許第3077107号
出願日： 1999年03月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 火炎加水分解により合成されたガラス微粒子を堆積させて光ファイバの多孔質ガラス母材を製造するためのチャンバ内表面に、ガラス微粒子からなる断熱層が設けられていることを特徴とする多孔質ガラス母材製造用チャンバ。

IPC (2件)：

C03B 8/04 ,  C03B 37/018

FI (2件)：

C03B 8/04 Q ,  C03B 37/018 A